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レーザーテック株式会社 – 「世の中にないものをつくり、世の中のためになるものをつくる」


レーザーテック株式会社 – 「世の中にないものをつくり、世の中のためになるものをつくる」
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レーザーテック株式会社は「世の中にないものをつくり、世の中のためになるものをつくる」ことを経営の基本とし、レーザー顕微鏡、エネルギー・環境、半導体、FPDの関連製品を生み出しています。

“毎年一つの新製品を開発しよう、それも世界ではじめてのものを”、創業以来大切にしてきたこの開発精神と日々の努力が、例えば今や業界標準機として高い評価をいただいている半導体マスクブランクス検査装置や液晶用大型マスク検査装置などに結実しています。

常に時代の最先端をリードする新しい技術の開発で、お客様のニーズと信頼に応え、社会に貢献していくこと、それが私たちの使命であり、願いです。

製品紹介:

  • レーザー顕微鏡

    5つの機能を1台で 高度な連携であらゆる観察・測定領域を網羅

    高分解能:405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化。広視野観察:一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視野観察による作業効率の向上。ナノオーダー測定:光干渉測定、反射分光膜厚測定、AFMによるナノレベル構造の測定(AFMはオプション)。波長選択:6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニーズに対応した観察・測定を実現。高精細カラー観察:カラーコンフォーカルの特長である焦点深度の深い高精細カラー画像の取得

  • 半導体関連装置

    TSV裏面研磨プロセスでのSi厚さ、TSV深さ、Remaining Si厚さ測定装置

    独自の干渉計とIR光学系の組み合わせを採用し、Via部の測定を実現。裏面研磨プロセスの研削前後両方において使用可能。TSV裏面研磨プロセスに最適なSolutionを提供。

 

 

  • エネルギー・環境関連製品

    GaN on Siや透明ウェハなどを高速で検査する 高感度欠陥検査/レビュー装置

    透明ウェハの検査に最適なコンフォーカル光学系を採用し、裏面反射等の影響を受けない安定した検査が可能。微分干渉光学系により、シャロースクラッチや様々な結晶欠陥を高い感度で検出可能。ブロードバンド光源と光学フィルタによる波長選択機能により、膜干渉などの影響を受けず、検査対象のウェハや膜に最適な条件での検査が可能。独自のアルゴリズムにより、欠陥以外の表面モフォロジの影響を受けない検査が可能。欠陥マップ表示機能、欠陥分類機能、マーキング機能を装備し、欠陥の分析をサポート

  • FPD関連装置

    微細化の進む大型マスクを高感度で検査

    短波長光源及び専用設計の対物レンズを含む最新の光学系採用により、画像解像度を大幅に向上し、高い検出感度を実現(最高検出感度0.35μm。当社従来モデル0.75μm)。新システムの開発により、データベース検査の分解能と展開処理能力を大幅に向上し、Die to Die 検査と同等の性能を発揮。独自のアルゴリズムによるデータベースのプロファイルマッチング機能により、最適なデータベース画像を自動生成。新型TDIセンサー、高速化した処理系、及びダブルデータベース検査(オプション)等により、検査時間も短縮。レビュー専用顕微鏡を装備し、フルカラーでのレビューを実現。装置内でのペリクル貼り付けも可能(オプション)

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